敏芯股份：14载炼就“我的中国芯”

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COVID-19突然爆发的肺炎给人们的生活带来了各种医疗防护设备，包括前额温度枪。对于这种红外温度计，核心部件是红外mems芯片封装的探测器。

苏州民信微电子技术有限公司是R&D一家生产红外mems芯片的企业。事实上，微机电系统(mems)芯片已经悄悄地渗透到各种生活场景中。Mems芯片是手机硅传感器、水平和垂直屏幕传感器、汽车压力传感器等的核心。随着5g时代的到来，mems芯片的应用场景正在加速。

在苏州工业园区独墅湖畔，专注于mems芯片研发的民信微电子创始人李刚已经在创业的道路上奔跑了14年。

COVID-19流行病延迟返工时间。交通恢复后，民信全面重返工作岗位。按照年度计划的既定目标，这家高科技企业正全速前进。

今年将是民信创业史上最重要的一年。冲刺科技板块，然后建设新的mems麦克风生产基地项目、mems压力传感器生产项目、mems传感器技术研发中心建设项目等。李刚希望抓住产业机遇，把mems的“中国核心”做大做强。他有信心，有信心。在此之前，他曾带领民信白手起家，开辟了国内mems全产业链之路。

研究生在北京大学学习，并获得了香港科技大学的博士学位。李刚的研究方向一直是微机电系统的研发。

2004年李刚从香港科技大学毕业时，mems仍是一个相对较小的行业方向，潜力巨大。“当我毕业时，我的许多同学选择去美国公司锻炼自己。在我的工作中，我发现mems有着光明的未来，这不是一个产品机会，而是一个产业机会，中国有着广阔的市场。我已经走了很长时间，我让我的家人遭受了很多。”

Mems技术是集成电路发展起来的新技术，它起源于1947年贝尔实验室晶体管的发明。Mems传感器芯片是利用半导体制造技术在硅片上采集外部信号的机电系统，已经实现了全面升级和更新。

离开校园后，李刚开始了自己的事业。“我觉得我当时有技术，创业并不难。”李刚用“有点天真”来形容他最初的想法。这种“幼稚”的尝试在八个月后遗憾地结束了——因为没有供应链，即使微机电系统是在实验室设计的，它也无法与市场连接，企业家的“幼苗”没有看到雨露就死去了。

这一尝试持续了8个月，李刚花掉了一半以上来之不易的奖学金。但是，李刚总结了自己的第一次创业，“没有白走的路”。这一难忘的经历让他意识到，只有从mems产业链入手，掌握在自己手中，他才能走完创业之路。十多年后的贸易战中，这个简单的想法被证明是确保自身安全发展的唯一途径。

大约在2007年，移动电话和移动互联网设备等消费电子产品要求mems传感器产品具有更小的尺寸和更低的功耗，第二波mems产业开始了。

也是在2007年，李刚迎来了一个关键的机遇，这来自于地方政府转型发展的推动力。“由于我设计的mems传感器，我被授予苏州工业园区第一位科技带头人，并获得了100万美元的奖金。”这是我真正的‘第一桶金’。”对地方而言，走科技密集型企业发展道路，实现产业升级，是经济转型发展的积极举措；对于李刚这样的创新型企业家来说，个人坚持和社会发展找到了一个交汇点，创业之路越来越平坦。

2008年，苏州纳米研究所的4英寸中试线用于产品和工艺开发，技术逐步形成，mems生产工艺探索逐步成熟。年底，包装技术将转移到工大电声，实现R&D与工业的结合。

2009年，我们与“中兴通讯最早的客户”SMIC成都工厂共同开发了基于8英寸线的mems批量生产工艺，实现了从4英寸线到8英寸线的飞跃。

2010年，民信参与国家“02专项”，与华润合作通过“工艺进口”生产晶圆。2011年，华润尚华的微机电技术逐渐成熟，实现了微机电产品的大规模生产。在mems封装工厂引入封装技术又一年之后，2012年，民信的mems产品终于在中国本土供应链上实现了大规模生产，这对于中国mems行业来说是一个里程碑式的事件。

与此同时，mems产业的第三次发展浪潮正在到来。越来越多的mems传感器被应用到手机中，以改善手机的用户体验。高端手机通常配备有加速度传感器、压力传感器、陀螺仪、硅麦克风、指纹传感器、距离传感器、环境光传感器、磁传感器和其他微机电系统产品。在可穿戴产品中，mems器件的应用越来越广泛，如用于测量运动记录步骤的加速度传感器、用于监测心率的心率监测传感器、用于测量血氧值的血氧传感器、用于感测海拔变化的气压传感器等。与此同时，其他类型的mems传感器正在消费电子领域逐渐普及。

“不容易！”回顾十多年的创业历史，这位年轻的企业家表达了这样的感受。在他看来，创业没有平坦的道路，所有的机会都留给那些坚定不移、坚持不懈的人。“这两个品质非常重要，否则你将无法到达终点。”

集成电路行业充满机遇，但也充满危机。“一步活，一步死”是这个特殊行业的写照。Mems是最困难的分支之一。

正是在这个充满危机挑战的领域，民信“杀出”了一条出路。经过多年的深度培育，民信已经完全打开了全球市场，企业呈现出产销两旺的喜人局面。目前，该公司硅麦克风产品的市场份额已位居世界第四。

中国的mems产业起步较晚，一般认为中国的mems产业将在2010年左右形成。当时，包括苏州民信、申迪半导体和苏州郝明在内的一批mems芯片设计企业刚刚在中国成立。

与此同时，一批具有产品封装和测试能力的国内企业开始走上另一条道路:从国外mems芯片公司购买晶圆进行封装，生产mems成品，并成功进入包括苹果在内的一系列国内外顶级客户。

然而，就像集成电路产业的发展一样，“购买+封装”的模式也有风险。要解决“瓶颈”问题，必须完全实现中国mems产业的自主控制，最关键的是突破mems芯片的设计制造环节和产业链的本土化。

作为中国mems产业自主发展的先锋，李刚经历了一个从无到有，再到打通整个产业链的过程。2007年，在民信成立之初，三位创始人使用自制的简易测试设备对mems器件进行腐蚀处理。

经过十多年的R&D投资，民信完成了芯片设计、晶圆制造、封装和mems产品测试方面的R&D基础工作和核心技术积累，并帮助SMIC、华润尚华、华天科技等国内半导体厂商开发了专业的mems晶圆制造和封装测试工艺，实现了整个生产过程的本地化。可以说，敏感核心为mems产业链的本土化探索了一条完整的道路。

“供应链的稳定性非常重要。敏感核具有很强的微机电系统芯片设计能力，最重要的是，敏感核已经将整个微机电系统设计和制造产业链串连起来，并具有生产产品的能力。这在国内mems行业是罕见的。”SMIC制造(绍兴)有限公司执行副总裁刘评论道。

截至2019年6月30日，民信在mems传感器领域累计获得38项国内外发明专利和17项实用新型专利，正在申请16项国内外发明专利和8项实用新型专利。2018年，公司营业收入为25271.34万元，复合年增长率为87.17%，净利润为6138.37万元，复合年增长率为294.74%。

这些强大的数据支持和激励着李刚和他的团队更加光明地前进。他希望中国抓住机遇，在mems产业转移过程中引领世界。“创业就像向西方学习。今后，我们将始终坚持创新理念，深化发展。提炼强大的‘中国核心’！”

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