兴发集团等研发的“电子级磷酸及蚀刻液”技术获国家科学技术进步二等奖

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本报记者李万晨曦

1月10日，国家科学技术奖励大会在北京隆重召开，兴发集团等单位共同研发的生产超高纯电子级磷酸和芯片高选择性蚀刻液的关键技术获得国家科技进步奖二等奖。

兴发集团是中国磷化工行业的龙头企业。经过多年发展，已形成“资源能源为基础，精细化工为主导，相关产业配套”的产业格局。其主要产品包括磷矿、黄磷和精细磷酸盐、磷酸铵、草甘膦、有机硅和电子化学品。该公司是中国第一家基于自身技术大规模生产电子级磷酸的企业。目前，公司设计生产能力为3万吨/年电子级磷酸，包括ic级、tft面板级和高纯食品级，实现了中国磷化工业从工业级和食品级到超高纯电子级的跨越。

超高纯度电子级磷酸和高选择性蚀刻溶液是芯片制造业中不可替代的关键电子化学品。该技术由第一完井单位兴发集团及其控股子公司兴福电子、中国科学院过程工程研究所、武汉工程大学等单位共同研发。经过近10年的不断研究和攻关，开发并掌握了生产超高纯电子级磷酸和芯片高选择性蚀刻液的关键技术，突破了美国、日本、韩国等少数国家化工企业的长期垄断和技术封锁，为中国芯片制造业的高质量发展创造了有利条件。

据了解，项目评审委员会专家一致认为，项目整体技术达到国际先进水平，超高纯电子级磷酸中砷、锑等杂质控制技术处于国际领先水平。依靠这一技术，兴发集团生产的电子级磷酸已取代日本制造商，成为世界第二大芯片制造商新加坡“格罗方德”的最大供应商；中国最大的芯片制造企业SMIC、上海华宏利等半导体企业的进口替代率大幅上升。

根据兴发集团半年度报告，公司控股子公司兴福电子目前拥有3万吨/年的电子级磷酸，产品国内市场份额超过70%，并参与了电子级磷酸国家标准的制定。

国家科学技术进步奖主要授予在技术研究、技术开发、技术创新、先进科学技术成果的推广应用、促进高技术产业化、完成重大科技项目和计划等方面做出创造性贡献的中国公民和组织。这是中国科技界的最高荣誉。

(编辑白宝玉)