从首批“小巨人”到资本市场新秀 沈阳芯源微坚守主业通关科创板

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我们的记者李勇

经过17年的努力，做好了一件事，沈阳新源威长期坚持的主营业务也得到了市场的认可。11月18日晚，中国证监会网站发布消息称，同意按照法定程序对沈阳鑫源微电子设备有限公司首次公开发行股票进行登记，这也意味着沈阳鑫源微电子创新板上市迈出了最关键的一步，只需等待最终的发行程序。

作为中国主要的半导体设备制造商之一，沈阳鑫源微自成立以来，一直致力于一件事，那就是深耕涂胶设备和整体湿式设备的研发领域。目前，公司生产的涂胶开发设备已成功打破国外垄断，填补了国内空空白，是国内涂胶开发设备领域的先锋。

根据公开披露的数据，沈阳新源威主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售。其产品包括光刻工艺中的涂胶显影设备(涂胶/显影机、喷胶机)和单片湿式设备(清洗机、除胶机、湿式蚀刻机)，可用于6英寸及以下和8/12英寸的单晶片加工。在集成电路制造之后的led芯片制造和先进封装环节，公司生产的涂胶和开发设备产品已成功取代进口产品成为国内厂商的主流机型；在以往的集成电路制造晶圆加工中，公司成功突破了以往涂胶开发设备的关键技术，并于2018年下半年将其送至上海华立和长江仓储进行工艺验证。其中，上海华力机械于2019年9月通过流程验证并确认收入，长江仓储机械目前仍在验证中。

记者了解到，光刻工艺中的涂胶显影设备是集成电路制造过程中不可缺少的关键加工设备，主要是配合光刻机通过机械手在各个系统之间输送和加工晶片，从而完成晶片的光刻胶涂覆、固化、显影、薄膜硬化等工艺过程。作为光刻机的输入和输出，上胶/显影机的性能不仅直接影响到精细曝光图形的形成，而且其显影过程中的图形质量和缺陷控制对许多后续工序的图形转印效果有着深远的影响。

“半导体设备市场是一个高度国际化、标准化和成熟的市场。作为一个后起之秀，沈阳新源微要获得市场认可并不容易。”一些业内人士在接受《证券日报》记者采访时表示，“要想打破国外技术的垄断，就必须依靠这些企业长期坚持主营业务，依靠骨子里不屈不挠的创新精神，依靠优秀的拳头产品。”

数据显示，虽然沈阳新源威只有253名员工，但截至2019年6月30日，公司已获得159项专利授权，包括134项发明专利和37项软件版权；是一个真正的专利“大家庭”。

公司计划发行不超过2100万股，募集资金将用于高端晶圆加工设备产业化项目和高端晶圆加工设备R&D中心项目。沈阳新源威在披露的材料中表示，以往芯片生产线的不断扩大和半导体设备国产化的大趋势，为国内半导体设备企业的发展创造了历史性机遇。通过此次发行，公司将能够解决R&D投资的迫切需求，进一步增强其在半导体设备领域的技术积累。

作为工业和信息化部首批认定的“专业化、创新型”小巨人企业之一，沈阳鑫源微利通关板也将帮助企业继续在改善管理、提高产品质量、实现创新发展方面发挥主导作用，以更好的产品帮助“中国核心”实现跨越式发展！

(编辑白宝玉)